磐石創新 專屬定制
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Panshi Innovation Specialized Customization
原子層沉積系統是制備高性能致密薄膜的重要手段,具有良好的臺階覆蓋率和精確地膜厚控制能力,主要用于燃料電池催化劑,氮化物,氧化物的薄膜沉積。
磐石創新(江蘇)電子裝備有限公司,主營SEMITOOL甩干機,內圓切片機,倒角機,拋光機,單晶爐,多晶爐,退火爐、真空鍍膜設備、ALD原子層沉積設備等。
真空鍍膜的目的,是為了給物體表面改性(改變物理化學性質),目前主流的鍍膜方法有;真空熱蒸發鍍膜、磁控濺射鍍膜、電子束蒸發鍍膜、ALD原子層沉積鍍膜等。