原子層沉積系統是制備高性能致密薄膜的重要手段，具有良好的臺階覆蓋率和精確地膜厚控制能力，主要用于燃料電池催化劑，氮化物，氧化物的薄膜沉積。

磐石創新（江蘇）電子裝備有限公司，主營SEMITOOL甩干機，內圓切片機，倒角機，拋光機，單晶爐，多晶爐，退火爐、真空鍍膜設備、ALD原子層沉積設備等。

真空鍍膜的目的，是為了給物體表面改性（改變物理化學性質），目前主流的鍍膜方法有；真空熱蒸發鍍膜、磁控濺射鍍膜、電子束蒸發鍍膜、ALD原子層沉積鍍膜等。