機械手
設備簡介
機械手做為晶片搬運和鍍膜工藝過程轉換中的執行元件，在半導體行業中廣泛應用。該產品采用先進的結構，提高了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，更節省空間，適應性更強。是半導體行業不可缺少關鍵部件之一。
技術參數
| 結構形式 | 柱坐標型/SCARA型 | |
| 負載 | 名稱 | 晶圓 |
| 直徑 | Φ200mm/Φ300mm | |
| 重量 | ≤0.5kg | |
| 自由度數 | 3 | |
| 最大回轉直徑 | 520mm | |
| 運動范圍 | 升降軸 (Z軸) | 50mm |
| 回轉軸 (T軸) | 360° | |
| 伸展軸 (R軸) | R750mm | |
| 最大速度 | 升降軸 (Z軸) | 300mm/s |
| 回轉軸 (T軸) | 360° | |
| 伸展軸 (R軸) | 800mm/s | |
| 重復定位精度 | 升降軸 (Z軸) | ±0.1 mm(3σ) |
| 回轉軸 (T軸) | ±0.01°(3σ) | |
| 伸展軸 (R軸) | ±0.1 mm(3σ) | |
