機械手
設備簡介
機械手做為晶片搬運和鍍膜工藝過程轉換中的執行元件,在半導體行業中廣泛應用。該產品采用先進的結構,提高了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設計滿足高速要求。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制,更節省空間,適應性更強。是半導體行業不可缺少關鍵部件之一。
技術參數
結構形式 | 柱坐標型/SCARA型 | |
負載 | 名稱 | 晶圓 |
直徑 | Φ200mm/Φ300mm | |
重量 | ≤0.5kg | |
自由度數 | 3 | |
最大回轉直徑 | 520mm | |
運動范圍 | 升降軸 (Z軸) | 50mm |
回轉軸 (T軸) | 360° | |
伸展軸 (R軸) | R750mm | |
最大速度 | 升降軸 (Z軸) | 300mm/s |
回轉軸 (T軸) | 360° | |
伸展軸 (R軸) | 800mm/s | |
重復定位精度 | 升降軸 (Z軸) | ±0.1 mm(3σ) |
回轉軸 (T軸) | ±0.01°(3σ) | |
伸展軸 (R軸) | ±0.1 mm(3σ) |